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英福康殘余氣體分析儀（RGA）在半導(dǎo)體制程中的重要性淺析第一、12英寸晶圓的市場需求趨勢明顯，要持續(xù)保證產(chǎn)品的高良率、保障真空環(huán)境的潔凈度以及在線同步偵測真空室就顯得非常之重要，這就必須要選擇INFICON的具有高靈敏度的殘余氣體分析儀（RGA）。第二、由于晶圓產(chǎn)品尺寸越做越小，對真空制程室內(nèi)的潔凈度要求也就越來越高。這其中，對真空要求嚴(yán)格的制程為金屬物理沉積，其真空全壓力必須達(dá)到1x10-8Torr左右，才能大幅降低背景水氣及氧氣對濺鍍金屬層電阻性的影響。而對于沉積晶粒大小...

PECVD：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積，指借助微波或者射頻波使腔室內(nèi)的反應(yīng)氣體分子電離，形成的高化學(xué)活性等離子體在基片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，沉積成膜。PECVD根據(jù)等離子發(fā)射源的動作情況可分為動態(tài)和靜態(tài)。根據(jù)設(shè)備結(jié)構(gòu)可分為鏈?zhǔn)健F(tuán)簇式和U型。根據(jù)射頻頻率的不同可分為RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD（30-300MHz）HJT設(shè)備：導(dǎo)質(zhì)結(jié)電池設(shè)備PVD：物理氣相沉積（(PhysicalVapourDeposition)，表示在真空條件下，采用物理方法，將材料源...

所有設(shè)備真空腔體的真空度檢測主要是用真空規(guī)，一般前級真空一個，本底和工藝監(jiān)控各一個，如果進(jìn)口的真空計，皮拉尼、熱電離規(guī)、電容薄膜規(guī)等，中國的真空設(shè)備廠家中，使用廣泛的進(jìn)口真空測量產(chǎn)品是深圳市科銳詩汀代理的瑞士英福康（INFICON）的真空計及控制器。但是困擾使用者的一個問題是英福康（INFICON）的真空計及控制器種類繁多，型號規(guī)格貌似沒有規(guī)律，很難記憶，今天我們就嘗試著解開這個困擾。真空計從原理上劃分很多種類，還有一些復(fù)合真空計，從大類上就可以分十幾種，加上測量寬度和精度的...

關(guān)于檢漏，關(guān)乎民用和工業(yè)用，小到自來水漏水大到我們的宇航艙漏氣，有些地方感覺微乎其微，有些地方且性命攸關(guān)。隨著真空環(huán)境的應(yīng)用不斷擴(kuò)大，越來越多的用戶關(guān)于檢漏的問題，如何檢，用什么檢？首先我們要知道漏怎么來數(shù)據(jù)化，漏率的單位就出來了，漏率是指在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下，單位時間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。在分子流狀態(tài)下，漏率是壓差的一次方函數(shù)；在粘滯流狀態(tài)下，漏率是壓力二次方差的函數(shù)。在已知容腔傳熱系數(shù)的情況下，利用測得的壓力數(shù)據(jù)進(jìn)行實際泄漏量的計算可消除由于溫度變化...

雙極旋片真空泵的問與答1、Q：雙極旋片真空泵可以應(yīng)用到哪些行業(yè)？A：深圳市科銳詩汀科技有限公司代理的旋片泵可廣泛應(yīng)用于太陽能、光學(xué)、薄膜、冶煉、鑄造、熱處理、手機(jī)、半導(dǎo)體、建材、微電子、平板顯示、Low-E玻璃、裝飾品等行業(yè)，在PVD、CVD、MBE、電廠凝氣器、油脂精煉系統(tǒng)、鋰電池干燥系統(tǒng)、直接蒸發(fā)系統(tǒng)、化工蒸發(fā)、蒸餾、濃縮系統(tǒng)、原料藥三合一干燥系統(tǒng)、食品脫水系統(tǒng)、冶金工業(yè)、鋼包脫氣、航天模擬實驗、包裝等行業(yè)中體現(xiàn)了明顯優(yōu)勢。2、Q：我要抽到100Pa（1mbar），可以選...

真空泵的問與答（二）1、Q：真空泵可以應(yīng)用到哪些行業(yè)？A：真空泵廣泛應(yīng)用于太陽能、光學(xué)、薄膜、冶煉、鑄造、熱處理、手機(jī)、半導(dǎo)體、建材、微電子、平板顯示、Low-E玻璃、裝飾品等行業(yè)、尤其在電廠凝氣器、油脂精煉系統(tǒng)、鋰電池干燥系統(tǒng)、直接蒸發(fā)系統(tǒng)、化工蒸發(fā)、蒸餾、濃縮系統(tǒng)、原料藥三合一干燥系統(tǒng)、食品脫水系統(tǒng)、冶金工業(yè)、鋼包脫氣、航天模擬實驗、包裝等行業(yè)中體現(xiàn)了明顯優(yōu)勢。2、Q：旋片泵有什么特點？A：旋片式真空泵通常有單級和雙極二種，是市場上使用廣泛的真空泵之一。其結(jié)構(gòu)主要有定子，...

INFICON高壓熱電離Pirani真空計HPG400將高壓熱電離技術(shù)與Pirani傳感器整合在一個體積小、價格低的規(guī)管中，可測量2×10-6mbar至大氣氣壓（1.5×10-6Torr至大氣氣壓）范圍內(nèi)的壓力。HPG400提供高可重復(fù)性和再現(xiàn)性壓力測量，實現(xiàn)精確控制鍍?yōu)R過程壓力。好處HPG400可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性高壓熱電離可以準(zhǔn)確可靠地測量1X10-5至1mbar范圍內(nèi)的壓力，進(jìn)而改善過程控制用戶可選的熱電離發(fā)射在5X10-2至1mbar...

INFICONBayard-AlpertPirani電容式隔膜真空計(Triple-Gauge™)BCG450將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個體積小、價格低的規(guī)管中，可以測量從5×10-10至1500mbar（3.75×10-10至1125Torr）的過程壓力和基本壓。BCG450的設(shè)計旨在替代三個傳感器（熱電離、加強(qiáng)對流Prani和真空開關(guān)），因而節(jié)省了成本和寶貴的工具空間。特點BCG450可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測量儀器的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性壓力超過10To...

INFICONCDG020D真空計的介紹與優(yōu)點是一種高質(zhì)量、高成本效益、不受氣體類型限制的絕壓傳感器。Porter設(shè)計用于在工業(yè)環(huán)境中獲得穩(wěn)定的長期性能。陶瓷傳感器能長期提供出色的量程穩(wěn)定性，免維護(hù)運(yùn)行且具有不同凡響的零位穩(wěn)定性。防腐蝕單一材料傳感器架構(gòu)可保證出色的溫度補(bǔ)償。全數(shù)字電子元件和小巧的外形注定它能夠靈活地用于任何集成。Porter真空計簡單可靠，始終保持可用且物有所值。INFICONCDG020D真空計優(yōu)點的跨度穩(wěn)定性-獨立于氣體類型防腐蝕氧化鋁傳感器緊湊型，同級...

PEG100真空計的優(yōu)點：1）寬闊的測量范圍。2）全金屬冷陰極傳感器（潘寧）采用陶瓷饋入件。3）程序的電極形狀提供優(yōu)良的點燃性能。4）等離子點燃后降低的高壓和鈦陰極板減少污染的危險，即使在有氬氣的濺射運(yùn)行中。5）陽極環(huán)和鈦陰極易于清洗和更換。6）真空計鄰近zui小的磁場強(qiáng)度。7）LED指示燈用于指示電源ON和等離子點燃。8）對數(shù)模似輸出訊號。9）Fieldbus接口（ProfibusDB,DeviceNet）易集成于使用網(wǎng)絡(luò)通訊的真空系統(tǒng)中。

真空應(yīng)用真空科學(xué)是一門基礎(chǔ)科學(xué)和應(yīng)用科學(xué)緊密結(jié)合的現(xiàn)代基礎(chǔ)學(xué)科，主要研究對象是真空環(huán)境的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)以及在這種環(huán)境中物質(zhì)的相互作用、在不同真空度的低氣壓環(huán)境中，真空環(huán)境和各種物質(zhì)發(fā)生相互作用，產(chǎn)生不同的效應(yīng)。例如真空吸力、真空隔熱和散熱、真空蒸餾、真空防氧化、真空干燥、真空絕緣、真空脫氣、保鮮、清潔、滅菌、檢漏、稀薄氣體放電、宇宙真空效應(yīng)等都和該學(xué)科研究的主題有關(guān)．這些科學(xué)和技術(shù)知識已廣泛用于電子、半導(dǎo)體、集成電路、冶金、食品、醫(yī)藥、運(yùn)輸、熱處理、焊接、鑄造、鍍膜、檢測、離子束...

有關(guān)膜厚儀（晶控）的問答1，膜厚儀（晶控）如何選型？答：這個問題很復(fù)雜，以深圳市科銳詩汀代理的瑞士英福康膜厚儀為例：如果僅僅需要監(jiān)測厚度，可選用SQM-160，STM-2XM，STM-3，STM-2。如果既要檢測，又要控制膜厚，可選用Cygnus2，IC6，SQC-310，XTC/3，IQM-233。如果需要將膜厚的測控集成到自己的系統(tǒng)中去，可選用IQM-233。如果在意精度，那么精度高的是Cygnus2，其膜厚和速度分辨率達(dá)到±0.0043?，其后依次為IC6...