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壓電閥及自動壓強控制儀
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PEV-1美國HEY壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合,主要應用領域包括: 磁控濺射,光學鍍膜,太陽能電池,ITO,等離子體刻蝕等。
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