IC6 INFICON薄膜鍍層控制儀

重復(fù) 功能豐富的IC6提供的測(cè)量精度

IC6薄膜沉積控制器通過將INFICON薄膜控制器的成熟性能與dute的功能相結(jié)合，提供zhuoyue的價(jià)值，所有這些都旨在讓您從沉積過程中獲得最大收益。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測(cè)量系統(tǒng)，以速率分辨率（每 1/10 秒 0.00433 ?/s）提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測(cè)量。沒有其他石英晶體控制器具有IC6的性能，質(zhì)量和功能，使您可以實(shí)現(xiàn)zhuoyue的可重復(fù)性。

功能

• INFICON 模式鎖定技術(shù)可確保zuiwending、最高分辨率和厚度測(cè)量，即使在非常低的速率下也是如此

• Auto Z 通過在材料沉積時(shí)自動(dòng)確定 Z 比來提高厚度精度

• 同時(shí)對(duì)多達(dá)六個(gè)信號(hào)源進(jìn)行編碼

• 彩色 TFT LCD 顯示屏可讓您輕松查看過程中的進(jìn)展情況

• +/-0.0035 Hz 超過 100ms 采樣

• 用于屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄的 USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

• 強(qiáng)大的 I/O，可靈活地集成到簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)中（使用可擴(kuò)展的輸入 （28） 和輸出（24 個(gè)繼電器，14 個(gè) TTL 輸出），并使用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語(yǔ)句）

• 標(biāo)配 6 個(gè) DAC 輸出，另外 6 個(gè)可選，用于源控制、速率或厚度監(jiān)控

• 可容納多達(dá) 50 個(gè)流程，每個(gè)流程 200 層，流程可以鏈接在一起，最多 10，000 層

• 多傳感器平均，最多 8 個(gè)傳感器

• 4 米 XIU 選件能夠?yàn)榇笮拖到y(tǒng)使用長(zhǎng)真空傳感器電纜

• 可選以太網(wǎng)通信

• 可選的IC6配置編輯器軟件（部件號(hào)781-620-G1） - 基于LabVIEW®的Windows®軟件，允許離線創(chuàng)建和編輯IC6配置文件，并將IC / 5配置文件轉(zhuǎn)換為IC6格式。

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

• gaoduan光學(xué)鍍膜